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超快激光器（皮秒或飞秒型）在微电子设备和纳米电子设备开发和生产用薄膜图案加工中的应用日益广泛，其产品应用包括光伏电池、显示器、传感器或大幅面有机电子产品等。超快激光器的主要优势包含热效应有限、能量散发快，有助于实现复杂的超薄型多层薄膜结构的花色处理。 …